大氣壓力傳感器除被廣泛應(yīng)用在氣象監(jiān)測中外,還被應(yīng)用在很多方面:如將其安裝在無人機上,可以通過無人機的周圍氣壓與遙控器氣壓的對比,從而得知無人機和控制人員的高度差,幫助無人機更好的進行著陸;將其應(yīng)用在智能手機、智能手表,智能手環(huán)等消費電子產(chǎn)品中可發(fā)揮更多的作用,還用來測量準確的高度位置、改善室內(nèi)導(dǎo)航,熱量計算以及許多其它的應(yīng)用。大氣壓力傳感器與半導(dǎo)體壓敏電阻壓力傳感器的制作原理類似,也是采用集成電路與微加工技術(shù),在一塊半導(dǎo)體基片(硅片)上形成壓力傳感器、溫度補償電路和放大電路。
在硅片的中間,從反面經(jīng)異向腐蝕形成了一個正方形的膜片(利用膜片將壓力變換成應(yīng)力),在膜片的表面,通過擴散雜質(zhì)形成4個P型的測量電阻,以惠斯頓電橋方式連接,利用膜片的壓阻效應(yīng)(將加在膜片上的壓力變換成電阻的變化),在兩個輸出端子之間輸出一定的電位差。
膜片的里面與硅杯之間設(shè)計成真空腔,用于緩和外部的應(yīng)力,并以此真空腔的壓力為基準來測量大氣壓力。